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壓力燒結爐維修廠家對幾種常見故障應對措施

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壓力燒結爐維修廠家對幾種常見故障應對措施

發布日期:2021-02-26 作者: 點擊:

壓力燒結爐主要用于半導體元器件及電力整流器件的燒結工藝,可進行真空燒結,氣體保護燒結及常規燒結,是半導體設備系列中一種新穎的工藝裝備。下面詳解壓力燒結爐維修的幾種常見故障應對措施:

壓力燒結爐維修

一、冷卻水異常

1、確認加熱電源已停止。  

2、爐外發生漏水,冷卻水量異常時,應盡快采取應急措施,如能保證水量,請繼續保持真空,如不能采取應急措施,保持原狀,確認設備冷卻下來。  

3、冷卻水發生異常時,設備處于停止狀態,馬上接通緊急用冷卻水。  

4、在高溫(超過200℃即視為高溫)時,如果冷卻水停止了,如果不能緊急送水,水冷電極、換熱器、真空室殼體及各泵可能被損壞。


二、壓縮空氣的停止

1、壓縮空氣異常報警時,設備處于停止狀態,應盡快到備用的壓縮機房,讓其恢復工作。  

2、真空中如壓縮空氣異常報警,且恢復需要較長時間時,則終止真空,讓設備停下來。


三、停電  

1、停電時,如果斷水,應立即接通備用的冷卻水,接通水源。  

2、如果在非升溫、加熱和冷卻時,能夠盡快恢復時,重新啟動設備,繼續運轉如需要較長時間,則將設備保持原狀。  

3、如果正在加熱和冷卻時,能夠盡快恢復時,重新啟動設備,如果需要較長時間時,則保持原狀,讓設備自然冷卻下來。


四、加熱電源掉電

1、水壓低,當水壓低于0.15MPa,壓力表報警。  

2、接地故障。  

3、真空放電,水冷電極接頭與加熱器連接處必須連接牢固,與反射屏絕緣要好。  

4、若爐內壓力為13.3-66.5Pa時(此真空度容易發生放電)。電源出現故障,掉電的原因可以認為由于電介質擊穿而引起的放電。


五、充氣氣體(氬氣或氮氣)停止

1、抽真空開始前,氣體充入時間長或者無法充入時,請確認氣體管路是否被堵塞。  

2、如氣體管路沒問題,檢查電磁閥及氣體充氣閥的動作,為了安全與其相關聯的設備要全部停止后再進行檢查。  

3、向真空室內充氣不能停止的情況下,泄壓閥動作如泄壓閥動作時,要關閉氣體供給閥及配管在內的所有氣體系統。  

4、確認氣體充氣配管是否有漏氣的地方,如有會影響制品質量。

本文網址:http://www.russia-rent.com/news/500.html

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